[한국기술뉴스] 서강대학교 전자공학과 유양모 교수 연구진이 ITO 타겟 내부 결함을 검출할 수 있는 'ITO 타겟 결함 검출 초음파 검사시스템'을 개발했다. 개발된 시스템은 디스플레이 유리·필름에 투명전극을 증착시키기 위한 ITO 타겟 및 IZO 결함을 검사할 수 있다. 타겟 내부 결함으로 인해 디스플레이 수율 하락과 생산 지연 등의 손실을 획기적으로 감소시킬 수 있을 것으로 판단된다.