[한국기술뉴스] 호서대학교 신소재공학과 한정수교수 연구팀은 연속공정 및 적외선 분광 검사 수행하는 염화티타늄 검사장치를 개발했다. 개발된 기술은 호서대학교 산학협력단을 통해 2019년 01월 30일 특허를 출원(출원번호 제1020190011846호)했다. 특허 명칭은 '염화티타늄 검사장치’이다. 현재 특허 등록이 완료돼 산업에서 기술을 활용할 수 있도록 기술이전을 추진할 계획이다. 

[기자]

염화티타늄은 액체로써 기화성이 매우 강한 물질입니다. 이를 통해 화학 기상 증착에 주로 사용됩니다.  가스의 화학반응을 통해 웨이퍼의 표면에 필요한 물질을 증착시킬 수 있습니다. 박막으로 사용하는 염화티타늄에 불순물이 존재하면 증착에 결함이 발생할 수 있어 불순물의 존재를 파악하는 것이 중요합니다.  그러나 염화티타늄은 공기와의 접촉으로 기화되기 때문에 검사를 하기 어렵고, 실시하더라도 측정값이 부정확한 문제점이 있습니다.

호서대학교 한정수 교수 연구팀은 염화티타늄의 정제공정을 멈추지 않는 연속 공정을 수행하면서 동시에 적외선 분광 검사를 수행할 수 있는 검사 장치를 발명했습니다.

본 기술의 검사 장치는 2개의 측정부로 나뉘어 있습니다. 첫 번째 측정부는 시료가 유입되지 않은 상태에서 적외선 분광 검사를 실시합니다.  두번째 측정부는 시료가 유입된 상태에서 적외선 분광 검사를 실시합니다. 사용자는 두 측정 결과를 비교하여 시료의 적외선 분광 검사 결과를 얻을 수 있습니다.

본 검사 장치는 외부 장치와 연결하여 사용할 수 있습니다. 시료 유입구와 배출부를 연결해 염화티타늄 정제공정에서 검사 장치로 이동 시켜 작업을 중단시키지 않고 연속공정을 수행할 수 있습니다. 또한 외부 공기와 시료가 단절되어 정확한 측정값을 얻을 수 있습니다.

본 기술은 기존 공정에 손쉽게 적용할 수 있어 실제 산업에서 경제적 가치를 지닌 원천 기술이 될 것으로 기대됩니다.