[한국기술뉴스] 나노종합기술원이 코리아스펙트랄 프로덕츠(주)와 공동연구로 ‘반도체 공정 진단 광센서 핵심 부품’ 기술 자립화에 성공했다.

반도체 측정 장비 및 센서 시장은 공정 미세화와 대면적화, 다양화 추세 등에 따라 세계 시장에서 경쟁이 치열한 분야이다. 현재 해외 기업이 높은 시장 점유율을 확보하고 있다.

반도체 생산기업은 고집적·초미세화 공정이 적용된 반도체 생산을 위해 정밀한 측정 성능과 스마트 공정제어가 가능한 고성능 진단 센서를 요구하고 있다. 하지만 이를 개발하고 있는 중소기업은 개발제품 테스트 지원을 받을 수 없어 반도체 기업에서 요구하는 제품사양을 충족하는 데 어려움이 있다.

이에 나노종합기술원과 코리아스펙트랄 프로덕츠(주) 기업은 2년간의 공동 개발을 통해 최종 수요기업 납품에 성능 기준을 충족하는 제품 개발에 성공하였다.

KSP 관계자는 “나노종기원과의 협력을 통해 세계 최고 기업과 경쟁할 수 있는 혁신제품 개발에 성공할 수 있었으며, 개발제품은 '20년 12월에 국내 반도체 생산라인 장비에 설치되어 시험평가 중이며, '21년부터 본격적인 매출 발생이 기대된다.”라고 밝혔다.

이조원 원장은 “금번 국산화 성과는 테스트베드를 활용한 반도체 부품 상용화 성공사례로, 향후 반도체 장비/부품 실증평가를 위한 테스트베드 추가 구축 등을 통해 국가 반도체 부품산업 육성에 기여할 계획이다.”라고 밝혔다.